應(yīng)用案例

　　固態(tài)照明，作為全球公認(rèn)的高效節(jié)能途徑，隨著高亮度發(fā)光二極管（LED）的出現(xiàn)，實現(xiàn)了從指示燈到照明領(lǐng)域的重大變革。我國半導(dǎo)體照明工程的啟動，更是推動了LED產(chǎn)業(yè)邁向快速發(fā)展階段。在半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)中，襯底是技術(shù)發(fā)展的基石與核心材料。藍(lán)寶石（α-Al?O?）憑借其卓越的物理、化學(xué)和光學(xué)特性，成為常用的襯底和窗口材料，如在LED襯底和紅外窗口中廣泛應(yīng)用。為提升藍(lán)寶石加工質(zhì)量，科研人員將超聲振動引入CMP，開發(fā)出藍(lán)寶石超聲振動輔助化學(xué)機(jī)械拋光（UV-CMP）工藝。該工藝將超聲振動施加于旋轉(zhuǎn)拋光頭，為傳統(tǒng)CMP增添了超聲輔助功能。

　　此時，功率放大器發(fā)揮關(guān)鍵作用，它將接收到的超聲電信號進(jìn)行放大，使電信號達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置所需的工作電壓和功率。放大后的電信號傳輸至超聲轉(zhuǎn)換裝置，進(jìn)而轉(zhuǎn)換成同頻率的機(jī)械振動。至此，CMP拋光機(jī)升級為UV-CMP，傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光升級為超聲振動輔助化學(xué)機(jī)械拋光。關(guān)閉超聲信號發(fā)生器開關(guān)，設(shè)備又可轉(zhuǎn)換回傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光工作模式。可見，功率放大器在整個UV-CMP技術(shù)流程中，起到了連接超聲信號發(fā)生器與超聲轉(zhuǎn)換裝置的橋梁作用，對實現(xiàn)超聲振動輔助功能、提升藍(lán)寶石加工效率和質(zhì)量至關(guān)重要。

　　信號發(fā)生器輸出的驅(qū)動信號不足以使超聲轉(zhuǎn)換裝置正常工作。因此還需配置功率放大器，將電驅(qū)動信號進(jìn)行放大。經(jīng)過放大的電信號可以使超聲轉(zhuǎn)換裝置正常工作。功率放大器選用Aigtek-ATA-68020，電壓是850Vp-p，最大輸出電流是2.12Ap。

　　實驗名稱：超聲化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

　　實驗原理：實驗設(shè)備中的超聲信號發(fā)生器產(chǎn)生特定頻率和波形的電信號，該信號經(jīng)功率放大器放大后，傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置。超聲轉(zhuǎn)換裝置內(nèi)的壓電陶瓷片將電信號轉(zhuǎn)化為同頻率的機(jī)械振動，再通過喇叭形蓋板放大機(jī)械信號并傳遞給樣品托，使拋光頭在旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生超聲振動。這一振動讓拋光液中的磨粒獲得額外能量，加速撞擊晶片表面，同時超聲釋放的熱量能加速拋光液與晶片表面的化學(xué)反應(yīng)。

　　實驗框圖：

　　實驗實拍圖：

　　實驗過程：首先準(zhǔn)備好2英寸C(0001)向單面藍(lán)寶石晶片、聚氨酯墊、特定粒徑和濃度的硅溶膠以及各類化學(xué)添加劑等材料。接著配制拋光液，將不同劑量的化學(xué)添加劑溶解至去離子水，再加入硅溶膠并稀釋至二氧化硅磨粒濃度為15%，攪拌30分鐘。實驗開始，把拋光墊粘在拋光盤上，設(shè)置好下壓、拋光頭/盤轉(zhuǎn)速、流速、時間和超聲振動振幅等工藝參數(shù)，將配制好的含不同化學(xué)藥劑的拋光液放入供給泵。然后清洗初始藍(lán)寶石晶片并稱重，吸附在拋光頭樣品托上，用修正盤修整被去離子水潤濕的拋光墊。此時，超聲信號發(fā)生器生成超聲電信號，該信號傳輸給功率放大器進(jìn)行放大，放大后的電信號傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置，將電信號轉(zhuǎn)換為機(jī)械振動，帶動拋光頭振動，使拋光頭在旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生超聲振動，實現(xiàn)超聲化學(xué)機(jī)械拋光。實驗結(jié)束后，取下工件清洗、稱重，計算材料去除率，利用原子力顯微鏡觀察表面形貌，并進(jìn)行XPS、SEM等檢測。

　　應(yīng)用方向：芯片封裝拋光，航空航天零部件拋光，醫(yī)療器械加工，反射鏡拋光等方向。

　　應(yīng)用場景：超聲化學(xué)機(jī)械拋光，藍(lán)寶石晶片，超聲化學(xué)機(jī)械拋光實驗，硬脆性材料超聲拋光

　　產(chǎn)品推薦：ATA-4000、ATA-L系列、ATA-M系列功率放大器

　　圖：ATA-4000系列高壓功率放大器指標(biāo)參數(shù)

　　圖：ATA-L系列水聲功率放大器指標(biāo)參數(shù)

　　圖：ATA-M系列功率放大器指標(biāo)參數(shù)

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